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mtorr前沿信息_mtorr是什么单位(2024年12月实时热点)

内容来源：云川SEO所属栏目：教程更新日期：2024-12-01

mtorr

COMSOL模拟：放电新知最近因为工作太忙，没能及时回复大家，真是抱歉。今天我想和大家分享一下使用COMSOL Multiphysics的“等离子体模块”来模拟GEC CCP反应器的放电过程。这个模拟真是让我大开眼界，学到了不少新知识。首先，这个模拟的放电气压设定在100 mTorr，氩等离子体通过13.56MHz的周期性电激励来维持。整个模型是二维的，描述了放电过程中多个宏观属性的空间和时间周期演化。反应器的设计有点复杂，电不对称性很明显，功率电极的直径大约是10cm，电极之间的间隙只有2.45cm。 CCP反应器中的功率沉积机制非常复杂，呈现出高度非线性，而且在多种不同的频率下发生。因此，我们不能在频域求解静电位，而是需要描述带电粒子的周期性演化，这样才能捕获非线性功率吸收特性。这个过程真是让人头大，但也让我对等离子体物理有了更深的了解。总的来说，这次模拟让我对GEC CCP反应器的放电过程有了更清晰的认识，也让我对COMSOL这个软件的功能有了更多的了解。希望我的分享能对大家有所帮助！如果你们有任何问题或者想法，欢迎在评论区留言，我们一起讨论！𐟘Š

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